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AJA离子束刻蚀系统 Ion Milling System

  • 离子束刻蚀系统

    离子束刻蚀系统

    物理刻蚀设备,多种尺寸选择。集成基片冷却和SIMS终点监测功能。兼容射频和直流离子源,最大22cm直径。滑轨时安装,方便集成更大直径离子源。

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